나노 품질 측정 검사

이 교과서는 나노 제품의 측정과 검사를 위하여 각종 첨단 장비를 이용한 나노 측정 분석 전문 지식을 습득하는 데 목적이 있다.

측정 방법, 측정 결과의 이해, 품질 측정과 검사, 첨단 장비를 이용할 때 일어날 수 있는 고장 진단 및 검사 등의 내용으로 구성하였으며, 나노 제품 제조의 각 공정에서 얻어진 측정값의 이해를 돕기 위해 실습 중심의 사례를 소개하는 등 학습이 실무 중심으로 이루어지도록 하였다.

Ⅰ. ‘측정 기초’에서는 측정의 종류와 특성, SI 단위 등 측정 개념과 길이, 각도 등 측정 방법, 3차원 측정 기술에 대한 설명에 중점을 두었다.

II. ‘나노 측정 장비’에서는 장비에 대한 이해를 위하여 입자, 패턴, 두께, 질량, 표면, 전자, 분광 등의 측정값을 그래프나 이미지로 얻기 위한 장비를 이해하는 데 중점을 두었다.

III. ‘반도체 소자 측정’에서는 측정 장비를 이용하여 실리콘 웨이퍼의 제조 품질 측정과 측정값의 결함 검사, 품질 검사 방법 등에 중점을 두었다.

IV. ‘반도체 공정 측정 검사’에서는 반도체 공정에서 각 단위 공정별 품질 측정, 고장 진단 및 검사를 위한 내용으로 각 공정에서 얻어진 측정값의 이해를 돕는 데 중점을 두었다.

V. ‘나노 품질 측정 실습’에서는 첨단 장비를 이용하여 실습 측정이 가능하도록 측정 방법에 대한 자세한 내용을 소개하는 데 중점을 두었다.